影响洁净室设计、建造成本的十个因素(五)

        6．温度控制。花费因素变量：-0.0321至 0.15

        温度和湿度的变化能够引起生产设备的误差，从而影响生产过程的可重复性，zui终导致产品合格率降低、增加浪费。因此，洁净室对温度严格控制要求是显而易见的，这项花费是bi须的。

        通常情况下，要求工程师在设计时降低施工费用，同时要求在很大区域内对温度进行jing确的控制，允许的温度变化范围在±4到6华氏度之间（例如使用卷帘门的仓库）。在没有硬墙和气闸装置时，这将是十分苛刻的要求，并且实际上无法控制湿度的变化。人们通常认为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易达到的，并且很容易维持，但需要仔细的评估这些项目的误差范围。

        如果对洁净室内的暖通、动力专ye装置和控制系统有严格要求，例如洁净室的温度控制要求为正负0.1华氏度所用花费，可能比基准点为70华氏度，±2.0度（即标准要求68到72华氏度）的高出20%到50%。

        在每个洁净室区域内，有局部自动调温器来控制设计温度。它能驱动安装在风管上的局部再热或再冷盘管工作，来满足房间内的湿热的要求。如果使用风机盘管装置，局部自动调温器控制本区域内盘管出口空气的温度。

        7．温度控制。花费因素变量：-0.034至0.19

        每个洁净室内的相对湿度，通过局部湿度调节器来进行控制。如果窨内的相对湿度较高，恒湿器通过降低冷冻盘管流出空气的温度来加强除湿。同时，再热盘管提供热量来保持窨的温度。任何一个洁净间的相对湿度超出了设计范围，局部恒湿器将启动安装在风管上的局部湿度调节器。当bi须满足jing确的湿度控制时，通常利用空调箱中的新风的绝热增湿效果来实现，并通过洁净室的结lou点来维持。

        湿度水平的局部变动可以通过超声波湿度调节器进行控制，该调节器位于zui终过滤前的风管静压箱内。用水水质为RO/DI，水电阴率在3到5mgm之间。如果相对湿度低于设计范围，恒湿器将启动湿度调节器来增加新风的水分含量。如果相对湿度较高，恒湿器将降低新风控制冷冻盘管流出空气的lou点温度，从而加强除湿效果。

洁净车间的特点设计和安装说明

影响洁净室设计、建造成本的十个因素(一)