5．空气压差。花费因素变量：-0.041至0.08

        洁净室增压是bi须的，它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染，控制有害污染物的流向，防止不同区域间的交叉污染，并帮助保持所要求的温度和湿度水平。

        洁净室与相关走廊、设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱（in.w.g.）之间。一般制药企业所要求的压差值比这更高，在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染。在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门，从而产生压差。好的微电子洁净室设计中，通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0。005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。入口入的机械风淋相对于它的必要性而言，更是设施文化和洁净室的原则问题。

        许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制，只有在大门全部打开的情况下，入口处的风量维持在每分钟50到100英尺。一些生物制药企业要求主动压差控制，采用补充新风的方式，自动补足通过门泄漏的空气（当门打开时）。

        压差临测器用来完成这个任务，监视器可能被安装在洁净室外面，而在洁净室内有一个LED的显示器，该显示器带有一个声音报警装置和两个指示器，可以表示气压的正常与否。这种设备在生物制药洁净室中有生物限制要求的区域内通常用来测负压值，而在电子类洁净室内，通常用来检测负压值，而在电子类洁净室内，通常用来检测正压值。它带有数字压差显示器，显示的jing确度是0.001 in.w.c.,测量压力值或真空度的范围是0.5 in.w.c。压差通过闪亮LED和自动报警装置来表示。当打开大门时，设备内部有一个可调整的延迟报警时间，用来避免启动声音报警装置。

影响洁净室设计、建造成本的十个因素(一)

影响洁净室设计、建造成本的十个因素(二)