在微电子生产技术的无尘车间内，根据产品的生产工艺将洁净室分为鞋交换区域、风淋室、货物淋浴室、半成品区域、成品组装区域、成品包装区域等多个区域。 各地区符合标准的清洁标准并在技术上配置，这些是无尘车间标准的基本之一。

　　气流速度及其均匀度的检测是洁净室效果的其他诸检测的前提，目的是明确单向流洁净室工作场所的平均气流流通度及其均匀性。

　　1 .室内洁净度的检查：洁净度的检查为了决定清洁环境能达到的空气洁净度水平，可以用粒子计数器进行检查。

　　2 .自我清洁时间的检查：通过决定自我清洁时间，明确在洁净室内部发生污染的情况下恢复原来清洁度的能力。

　　3 .照度检测：照度检测的目的是明确洁净室的照度水平和照度的均匀性。

　　4 .振动检测：振动检测的目的是查明洁净室各自表明的振幅。

　　5 .温湿度的检查：温湿度的检查目的是将温度、湿度调整到yi定限度内的能力。 其内容是检测无尘车间的送风温度，检测代表性测量点的空气温度，检测洁净室中xin点的空气温度，检测传感器的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

　　作为清洁环境的重要一环是防止微粒子进入。 每个作业人员进入洁净室之前，更换无灰尘、无静电的特殊导电性纤维材质的防静电洁净服、防静电帽、防静电鞋、防静电手套、防尘口罩、洁净布等，在风淋室用高速清洁空气除去附着在衣服表面的粒子，

　　无尘车间的标准是利用空气净化技术对微生物污染进行不同程度的控制，控制空间环境中的空气洁净度达到适合各种净化的要求。 另外，可以提供适当的温湿度，创造清新清洁舒shi、细菌数量低的空间环境，提供舒shi的气流，室内温度可以控制在22~26，湿度可以控制在40%~60%之间，室内空气清新、清爽、环境洁净室是正压气流(水平低，对相邻洁净区的压力为10-15Pa  )，防止外来污染物的侵入，大幅降低室内清洁率。

无尘车间洁净度要点

无尘车间如何做好清洁卫生及保养管理