1.按洁净室结构划分。

        1）乱流式

        空气通过风管和洁净室的空气过滤器空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并通过洁净室两侧的隔墙板或高架地板回风。气流不是直线运动，而是不规则的流动或涡流状态。这种形式适用于1万~10万级的洁净室。

        定义：气流以不均匀速度不平行流动，并伴有回流或涡流。

        特点:乱流洁净室通过多次通风实现清洁和清洁。通风次数决定了定义中的净化水平(通风次数越多，净化水平越高)

        (1)自净时间:指洁净室按设计通风次数送风至洁净室，室内粉尘浓度达到设计净化水平的时间。1000级希望不超过20min(15min计算)；1万级希望不超过30min(25min计算)；1万级希望不超过40min(30min计算)。

        (2)通风次数(按上述自净时间要求设计):1000级43.5~5.3次/h(规范:50次/h)；10000级23.8~28.6次/h(规范:25次/h)；10000级14.4~19.2次/h(规范:15次/h)。

        优点：结构简单，系统建设成本低，容易扩大洁净室。在某些特殊场合，可以使用无尘工作台来提高洁净室的等级。

        缺点：室内空间漂浮引起的粉尘颗粒不易排放，易污染工艺产品。此外，如果系统停止运行和ji活，通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

        2）层流式

        层流空气流动均匀直线，空气由过滤器(100%覆盖工作区)进入室内，高架地板或两侧隔墙板回风。这种形式适用于洁净室等级高的环境，洁净室等级一般为1~100。

        可分为两种形式。

        (1)水平层流。

        水平空气从过滤器单向吹出，从对面墙的回风系统回风，灰尘随风排出室外，一般污染较严重。

        优点：结构简单，运行后短时间内稳定。

        缺点：施工成本高于乱流式，室内空间不易扩大。

        (2)垂直层流。

        房间的天花板完全fu盖着ULPA过滤器，空气从上到下吹，可以获得更高的清洁度。在不影响其他工作区域的情况下，工艺或工作人员产生的灰尘可以快速排出室外。

        优点：易于管理，运行可在短时间内达到稳定状态，不易受操作状态或操作人员的影响。

        缺点：结构成本高，弹性使用空间困难，天花板吊架占用空间大，维修更换过滤器麻烦。

        3）复合式

        复合型是将乱流型和层流型与复合型或并用，可提供局部超洁净空气。

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